半导体产业是一个非常成熟的行业，当我们把计算机外，船上的小芯片数百万颗恒星甚至百万晶体管。为了使这些微小的晶体管工作，生产过程_在一个干净的房间，集成电路制造厂需要数十亿，数十亿的投资，更因为需要一个干净的房间。

所谓的洁净室是一种人为的环境，其中包含颗粒通常是好的环境下，随着集成电路技术的飞速发展，也增加了制造环境（无尘室）的清洁度要求的行业，甚至大小小于1微米的颗粒，也可能阻碍产品操作或减少其使用寿命。

由于纳米技术的兴起，半导体关键尺寸的不断减小，集成电路产品集尘度的增加，更容易失败或可靠性劣化。例如，当金属粉尘颗粒的金属线，可使金属丝形成短路。如果有酸性离子化合物粉尘的金属丝，有腐蚀性，所以洁净室专用集成电路制造_的元素。

根据美国联邦政府颁布的标准[联邦标准209 E（财政司司长），1992 ]，可分为六个等级的无尘室。1，10级，100级，1000级，10000级，1级，00000级，如果清洁房间的尘埃粒子数描述，可以假定一个尘埃粒子大小0.5？米，例如，1级，10级，100级无尘室_粒数小于或等于1，10，100，如果粒子的大小是0.5？米，洁净室等级应在一个特定的粒度级数表示。例如：100.2？米（粒径范围在0.2？米或更大，密度不_过75/立方？）1年级，0.1？米（粒径范围在0.1？米或更大，密度不_过35/立方英尺。）。和集成电路制造所需的无尘室清洁度_达到1000级以上。

为保持清洁干净的房间，和工作人员有_的服装规定；10000和100000个等级，_穿长袍，干净的衣服，干净的鞋子，帽子和口罩；1000级（含），都_穿上特殊的清洁连衣，清洁鞋裹体，并戴手套和下表面膜，清洁房间清洁定义。

粒子/立方英尺

系列0.1米0.2米0.3米0.4米0.5米

1357.531/

10350753010/

100/750300100/个

1000/，//10007

10000/，//1000070